表面粗糙度測(cè)量功能

1. 高分辨力型Z1軸檢出器作為標(biāo)準(zhǔn)件提 供。Z1軸的高顯示分辨力為μm (測(cè)量范圍為8μm時(shí))。 2.X軸內(nèi)置高精度玻璃光柵尺，直接讀取X 軸移動(dòng)距離，在高精度精準(zhǔn)定位下，完 成間距參數(shù)的評(píng)價(jià)。

3.檢出器測(cè)力有4mN和可選。

輪廓測(cè)量功能

•Z1軸(檢出器)上配有高精度弧形光柵尺和 新型測(cè)臂。高精度弧形光柵尺能直接讀 取測(cè)針的弧形軌跡，以實(shí)現(xiàn)高精度和高 分辨力。與傳統(tǒng)型號(hào)相比，新測(cè)臂使Z1 軸測(cè)量范圍增大了10mm 同時(shí)減少了工 件的干擾。測(cè)臂安裝部采用了磁性鏈接 件，單此接觸就能完成測(cè)臂的裝卸，提高了易用性。