上海伯東美國 KRI 考夫曼離子源提供中空陰極 e-Mission
Hollow Cathodes 結(jié)構(gòu)緊湊, 重量輕, 可以安裝在離子源或真空系統(tǒng)的側(cè)面, 相對于燈絲的模式有更長的使用壽命, 這在運(yùn)行忌諱突然中斷的復(fù)雜工藝時(shí), 是非常有意義的. 而且離子源中空陰極 Hollow
cathode 輻射的熱量更低, 可以使襯底獲得更低的溫度,對于對溫度敏感的襯底材料而言, 使用中空陰極更有優(yōu)勢.
離子源中空陰極 Hollow Cathodes 型號
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Model
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HFx
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SHC1000
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DSHC1000
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Cathode
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Yes
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Yes
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Yes
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Neutralizer
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Yes
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Yes
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Yes
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Orientation
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Vertical /
Horizontal
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Vertical /
Horizontal
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Vertical /
Horizontal
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Regulation
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Emission
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Emission
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Emission
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Operational
gas
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None
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Inert
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Inert
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Process gases
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Inert &
reactive
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Inert &
reactive
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Inert &
reactive
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Power
Controller
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FC100x
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e- Mission
Power Pack
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e- Mission
Power Pack
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T: +86-21-5046-3511 ext 109 1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立
Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng). KRi 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.
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